金属部品(アルミ、SUS等)のワークテスト事例

経緯

真空度10Pa程度、温度250℃にて真空処理を行っていたが、処理後の部品が高真空域(10-5Pa程度)の部品として使用されるため、前処理として同程度の真空度での処理が必要であった。

成果

高真空乾燥器を使い、250℃、10-4Pa orderという条件でテストを行った結果、要求仕様を満たすことができた。その後、ターボポンプ付き高真空乾燥装置を導入し、運用している。

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